鍍膜用鈦管靶憑借其高利用率、優(yōu)異膜厚均勻性和旋轉(zhuǎn)濺射適應(yīng)性,成為大面積連續(xù)鍍膜的核心材料。相較于鈦板靶和靶塊,鈦管靶在量產(chǎn)效率和成本控制上更具優(yōu)勢(shì),但對(duì)加工精度(如焊接密封性、幾何公差)要求嚴(yán)苛。選購(gòu)時(shí)需重點(diǎn)把控純度、微觀結(jié)構(gòu)及供應(yīng)商的工藝能力,使用中需優(yōu)化濺射參數(shù)與維護(hù)流程,以延長(zhǎng)靶材壽命并保障鍍膜質(zhì)量...
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